[实用新型]一种在线式石墨舟偏移的补偿装置有效
| 申请号： | 202022844149.1 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213812135U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 黎俊龙;林小华;吴卓庚;吴志龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市艾特自动化有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;H01L21/673;H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种在线式石墨舟偏移的补偿装置，包括：激光测量模块，用于发出激光，实时采集舟槽的实际位置；控制模块，与所述激光测量模块电性连接，控制所述激光测量模块启动，接收舟槽的实际位置的采集数据，并得出舟槽的偏移数据；补偿模块，与所述控制模块电性连接，用于接收所述控制模块发送的偏移数据，控制装卸片机器人根据偏移数据运行至准确位置进行装卸片操作。本实用新型的在线式石墨舟偏移的补偿装置有效解决了现有技术中无法对石墨舟舟槽的偏移进行实时监控，而造成石墨舟偏移后，装卸片机器人无法准确将硅片进行装卸的情况发生，大大降低了碎片率，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 石墨 偏移 补偿 装置 | ||
【主权项】：
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