[实用新型]一种靶材的喷砂遮蔽治具有效
申请号: | 202022849448.4 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213731233U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B24C9/00 | 分类号: | B24C9/00 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 关璐琪 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具,涉及靶材喷砂治具,它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部,所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构,所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板,所述遮板上端固定连接有壳体,所述壳体下端对称连通设有多个吸气管,多个所述吸气管下端均设有吸盘,多个所述吸盘下端与靶材上端接触,所述靶材上设有用于抽出吸盘内空气的抽气机构。本实用新型能够对非喷砂部进行有效地遮挡,从而保证了喷砂后的靶材达到使用标准,另外装置能够紧紧吸附在靶材表面,喷砂过程装置不会脱落,进一步保证了靶材喷砂的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷砂 遮蔽 | ||
【主权项】:
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