[实用新型]一种基于硅片成品的检测装置有效

专利信息
申请号: 202022850793.X 申请日: 2020-12-01
公开(公告)号: CN214539289U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 祝凯;王雅妹;吾超凤 申请(专利权)人: 开化晶芯电子有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江省衢州市开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及硅片检测技术领域,且公开了一种基于硅片成品的检测装置,包括工作台,所述工作台的顶部固定连接有立支架,所述立支架的右侧固定连接有第一电机,所述立支架的内部开设有传动槽,所述传动槽中转动连接有驱动螺杆。该基于硅片成品的检测装置,通过设置第一电机、驱动螺杆、动块、第二电机、驱动轴、转盘和卡板,将待检测的硅片放置在转盘中,并与卡板贴合,启动第二电机,第二电机通过驱动轴带动转盘转动,再启动第一电机带动驱动螺杆转动,动块开始带动检测机移动,通过检测机的光学设备对硅片进行观测,可避免区域漏检,解决了当前工作人员手持硅片不断地变换角度观察检测,容易出现漏检一些区域,硅片容易掉落的问题。
搜索关键词: 一种 基于 硅片 成品 检测 装置
【主权项】:
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