[实用新型]一种用于半导体芯片的环保型烘干装置有效

专利信息
申请号: 202022859886.9 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN213578448U 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 张敏;明静 申请(专利权)人: 深圳微纳电子科技有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市龙岗*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种用于半导体芯片的环保型烘干装置,属于烘干技术领域,该用于半导体芯片的环保型烘干装置包括箱体,所述箱体上表面的中部固定连接有支撑杆,所述支撑杆的顶端固定连接有热风机,所述热风机的输出端固定连接有方管。该用于半导体芯片的环保型烘干装置,通过热风机、方管、圆管、出风头、清洗烘干架、箱门和保温隔热层的设置,在使用过程中,工作人员把半导体芯片放入到清洗烘干架中,关闭箱门,热风机产生的热风通过方管进入到圆管由出风头吹出,吹出的热风对着清洗烘干架烘干,保温隔热层采用硅铝纤维的材料,具备良好的保温隔热性能,避免热量流失,从而达到了解决烘干不均匀且热量流失的问题。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 芯片 环保 烘干 装置
【主权项】:
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