[实用新型]用于等离子室的边缘环有效
| 申请号： | 202022865060.3 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN214411118U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·C·凯洛格;亚当·克里斯多夫·梅斯;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·霍兰德;陈志刚;菲力克斯·莱布·科扎克维奇;亚历山大·马丘什金 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于等离子体室的边缘环，所述边缘环被配置为沿着衬底支撑件的外围放置，所述边缘环的特征在于顶部环形表面(102)；顶部止挡表面(720)；在所述顶部环形表面和所述顶部止挡表面之间的圆形成角度的表面(710)；底部环形表面(302)，其具有形成在其中的多个螺钉插孔件(402A)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 边缘 | ||
【主权项】：
暂无信息
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