[实用新型]真空蒸镀用冷却板有效

专利信息
申请号: 202022867548.X 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN213924987U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 史延锋;史延库 申请(专利权)人: 苏州盟萤电子科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 代理人: 包加健
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种真空蒸镀用冷却板,其包括冷却板本体、边框及多个弹性防粘机构,所述弹性防粘机构包括弹性部及将所述弹性部与所述边框连接的安装部,弹性部包括套筒、杆、设于杆上端的限位部及弹簧,所述套筒内壁设有第一凸起,杆的外周设有第二凸起,第一凸起位于第二凸起上方并将弹簧限定在第一凸起与第二凸起之间;冷却板本体上开设有供所述杆通过的通孔,无外力作用时,杆的下端突出冷却板本体的下方,当玻璃基板与冷却板本体叠加时,杆在玻璃基板的推动下向上移动,弹簧为压缩状态。如此设置,使得玻璃基板在蒸镀完成后可在弹性防粘机构的推动下与冷却板顺利分离,防止玻璃基板破损。
搜索关键词: 真空 蒸镀用 冷却
【主权项】:
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