[实用新型]节能型锭生长装置有效

专利信息
申请号: 202022877329.X 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN215328458U 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 李英俊;朴镇成;全韩雄 申请(专利权)人: 韩华思路信
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00;C30B15/26
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 陈万青;李雪
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型公开节能型锭生长装置。本实用新型的节能型锭生长装置包括:腔室,在内部设置有坩埚,为了使得硅熔融而通过热源来对上述坩埚进行加热;侧面绝热材料,以对上述坩埚的侧面进行绝热的方式设置于上述腔室的内侧;以及观察部,以能够观察上述坩埚的内部的方式贯通上述腔室和侧面绝热材料来设置。
搜索关键词: 节能型 生长 装置
【主权项】:
暂无信息
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