[实用新型]一种半导体硅片抛光用下载暂存机构有效
| 申请号： | 202022883128.0 | 申请日： | 2020-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN213889515U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 袁祥龙;刘园;武卫;刘建伟;由佰玲;孙晨光;王彦君;常雪岩;裴坤羽;祝斌;刘姣龙;张宏杰;谢艳;杨春雪;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/02;B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种半导体硅片抛光用下载暂存机构，其特征在于，包括若干相邻而设的下载装置，所述下载装置具有：存有一定溶液并使溶液缓冲流动的下载放置组件；和用于支撑所述硅片并可上下移动的下载支撑组件；其中，置于所述下载放置组件内的溶液可完全与所述硅片抛光面接触；所述下载支撑组件贯穿所述下载放置组件设置；连接所述下载支撑组件中与所述硅片的接触点所围成图形的外接圆与所述硅片同径。本实用新型可稳定同步放置从抛光机上取出的多组抛光后的硅片，不仅可使硅片的抛光面完全处于水液环境中与空气隔绝，也同时对下载硅片的非抛光面上的抛光液和杂质进行清洗去除；结构设计简单且联动性好，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 硅片 抛光 下载 暂存 机构 | ||
【主权项】：
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