[实用新型]一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置

摘要

本实用新型公开的一种具有可靠耐腐蚀结构的碳化硅晶体生长装置，包括石墨坩埚，石墨坩埚上设置有坩埚盖，坩埚盖的内侧固定设置有籽晶，石墨坩埚内装有原料，石墨坩埚的内侧壁以及内底壁分别贴有侧部石墨纸与底部石墨纸，石墨坩埚的内底壁外沿设置有环形容纳槽，环形容纳槽内可拆卸的设置有压环，压环的上表面与石墨坩埚的内底壁相平，底部石墨纸的外边缘与压环的外边缘相平齐，侧部石墨纸的底端与压环的底端相平并被卡紧在压环的外侧。本实用新型中通过增加压环与环形容纳槽，并且将侧部石墨纸以及底部石墨纸的局部结构进行改进，使得侧部石墨纸以及底部石墨纸的接合处的重合区域大大的增加，避免了石墨坩埚因为参与反应而导致的腐蚀情况。