[实用新型]表面清洗器及物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 202022899475.2 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN214655200U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 赵志刚;沈利明;蔡镇洲;贺威;黄勇;施罗哲;王进平;彭华;沈启航 | 申请（专利权）人： | 深圳市裕展精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 习冬梅 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市观澜富士康鸿观科技园B区厂*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种表面清洗器，包括弧形管道、阳离子源以及线圈，阳离子源用于产生阳离子，阳离子用于清洗工件的表面；线圈位于弧形管道的周围，用于在弧形管道中产生磁场；其中，磁场用于使阳离子经过弧形管道到达工件的表面。本申请还提供一种包括工件表面清洗器的物理气相沉积设备。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 清洗 及物 理气 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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