[实用新型]一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构有效
| 申请号： | 202022911287.7 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN213981997U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 山本晓;张海涛;刘良宏;许彬;庞博 | 申请（专利权）人： | 无锡吴越半导体有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 刘秀颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及氮化镓材料制备设备相关组件技术领域，且公开了一种用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，包括石英制反应管、不锈钢上法兰、不锈钢下法兰、石英制内容器、石英制导气管和石英制导入管，所述石英制内容器、石英制导气管和石英制导入管均位于石英反应管的内腔，石英制导气管和石英制导入管与石英制内容器之间连接有石英制加强筋，石英制反应管的环形端口底部设置有分隔法兰，分隔法兰和石英制反应管之间夹设有密封垫片。该用于氮化镓材料制备的石英管密封连接机构，有效的区别传统的法兰密封连接方式，使得相关操作人员能够及时发现石英管密封连接机构的泄漏问题，保障石英管连接结构的密封稳定使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 材料 制备 石英管 密封 连接 机构 | ||
【主权项】：
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