[实用新型]一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床有效
| 申请号： | 202022911661.3 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN214054656U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 山本晓;张海涛;刘良宏;许彬;庞博 | 申请（专利权）人： | 无锡吴越半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/02;B24B49/04;B24B49/12;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 刘秀颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆表面处理相关技术领域，且公开了一种用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，包括机床床身、机床工作台、数控控制面板、立柱、砂轮升降系统、砂轮驱动系统、X光机、X光机立柱、砂轮升降手动系统、砂轮液压系统和砂轮手动系统，所述机床工作台安装机床床身的顶部，数控控制面板通过安装柱安装在机床床身的正面，立柱安装在机床工作台的顶部左侧，砂轮升降系统安装在立柱上。该用于晶圆表面处理的高精度平面磨床，X光机能够有效的将平面磨床所加工的晶圆进行检测，避免晶圆在加工时出现裂缝等异常加工，而定向仪的设置有效的对加工状态下的晶圆精度尺寸进行检测，提高产品的加工精度，进而有效的提高产品的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 表面 处理 高精度 平面磨床 | ||
【主权项】：
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