[实用新型]苏玛罐自动进样系统有效
| 申请号： | 202022913286.6 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN215066734U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 徐慧玲;张旭光;徐蕾 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/10 | 分类号： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及苏玛罐自动进样系统，包括苏玛罐，用于存储采集分析样品；清罐仪，清罐仪用于清洗苏玛罐，并且将清洁好的苏玛罐抽至负压状态，清罐仪包括一侧壁；第一管路部分，第一管路部分包括多个第一管路，且多个第一管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第一阀门部分，第一阀门部分包括多个第一阀门，且多个第一阀门与多个第一管路的第二端一一对应连接；第二管路部分，第二管路部分包括多个第二管路，且多个第二管路的第一端与多个第一阀门一一对应连接，多个第二管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第二管路的材质为PFA，可减少清罐仪气体管路的损耗且避免了某一个分支漏气导致整层漏气，机台无法使用的情况出现。 | ||
| 搜索关键词： | 苏玛罐 自动 系统 | ||
【主权项】：
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