[实用新型]一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置有效
| 申请号： | 202022914536.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN213899211U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 胡新明 | 申请（专利权）人： | 岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/00;F04B39/12;F04B39/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 414003 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，一腐蚀性气输送管路的出气端与一真空泵的进口连接，一氮气输送管路的出气端与该真空泵的进口连接，一腐蚀性气‑氮气的混合气输送管路的进气端与该真空泵的出口连接。该对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，由于有氮气进入真空泵内，将进入真空泵内的腐蚀性气稀释，氮气属于惰性气体，不具有腐蚀性，从而减小了真空泵的内部零件所受腐蚀，使用寿命得到延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 抽吸 腐蚀性 气体 进行 稀释 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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