[实用新型]一种用于氮化镓材料制备的喷嘴装置

摘要

本实用新型涉及氮化镓制备相关组件结构技术领域，且公开了一种用于氮化镓材料制备的喷嘴装置，包括定位阶梯外框，定位阶梯外框的底部为开口状，所述定位阶梯外框的内侧设置有法兰衔接管，法兰衔接管的顶部端口法兰连接有石英制外容器，石英制外容器的内侧设置有石英制内容器和石英制导气管，石英制内容器的底部一端环形侧面设置有嵌入卡块，石英制导气管的末端以石英制内容器底部端口为中心环形设置有石英制喷头。该用于氮化镓材料制备的喷嘴装置，避免氨气和氯化镓直接提前进行混合反应，使得其所导出的氢气和氮气分别与氨气和氯化镓进行有效的分别混合之后再进行反应，从而有效的增加了原料的混合反应效率。