[实用新型]扩散炉管进出气循环装置及包括其的扩散炉有效
| 申请号： | 202022915747.3 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN214529323U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 翟广鹏;高晓通;刘瑞源 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/06;H01L21/223 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 顾友 |
| 地址： | 055550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种扩散炉管进出气循环装置，包括设置在扩散炉管尾部上的进气管和排气管，所述进气管自所述扩散炉管尾部延伸至扩散炉管头部，所述排气管位于扩散炉管内的一端靠近所述扩散炉管尾部。还公开了一种扩散炉，包括扩散炉管，所述扩散炉管连接有以上所述的扩散炉管进出气循环装置，所述扩散炉管进出气循环装置中的进气管和排气管设置在扩散炉管尾部上。相比现有技术，本申请能够有效减少排气管的堵塞情况，且便于排气管的拆装。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 炉管 进出 循环 装置 包括 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶澳太阳能有限公司，未经晶澳太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022915747.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方便调节的脚手架
- 下一篇：一种金属制品用节能环保型的热处理加工设备
