[实用新型]一种氮化镓反应釜的分部清洗装置有效
| 申请号： | 202022925146.0 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN213856182U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;邵文锋;林岳明 | 申请（专利权）人： | 国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区华富*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化镓反应釜的分部清洗装置，属于一种清洗装置和清洗方法，分部清洗装置用于清洗至少具有釜盖和釜体的反应釜，包括清洗模组和管路系统，所述清洗模组至少包括若干用于清洗釜体的釜体清洗部、以及若干用于清洗釜盖的釜盖清洗部，所述管路系统将反应溶液、水和高温气体依次地分别通入釜体清洗部和釜盖清洗部，以釜体清洗部中的釜体和清洗釜盖清洗部中的釜盖；解决了现有技术的清洗装置无法满足大尺寸的反应釜的清洗需求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 反应 分部 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司，未经国镓芯科（深圳）半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022925146.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种分部清洗装置的釜体清洗部
- 下一篇：一种投影仪用固定机构
