[实用新型]一种晶圆金属环存放架有效

专利信息
申请号: 202022934210.1 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN213922098U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 邓国发;刘海波 申请(专利权)人: 深圳市广盛浩科技有限公司
主分类号: B65D25/04 分类号: B65D25/04;B65D25/02;B65D6/08
代理公司: 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 代理人: 计小玲
地址: 518031 广东省深圳市福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提出了一种晶圆金属环存放架,包括顶框和底杆,所述底杆之间通过连接片固定连接,所述顶框和所述底杆之间设有分层框和条形的分隔板,两个所述分层框之间形成存放槽,所述顶框和所述底杆内侧设置有竖直对应的凸块,所述凸块之间连接有螺纹杆。本实用新型通过分层框和分隔板之间的相互配合形成存放槽,同时结合螺纹杆与凸块的配合,能够精准的对晶圆金属环进行限位固定,避免出现杂乱的情况,而且本实用新型能够自由调节分层框之间分隔板的数量,以此调节存放槽的厚度,来满足不同厚度的晶圆金属环的存放,避免出现一格多放等情况;本实用新型通过设置分层框对相邻的两个存放槽进行分隔,对金属环具有分隔、导向的作用。
搜索关键词: 一种 金属环 存放
【主权项】:
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