[实用新型]一种晶圆的超声波清洗机

摘要

本实用新型公开了一种晶圆的超声波清洗机，包括底板、机架、清洗箱和吸附机构，所述清洗箱设有两个，所述清洗箱分别位于机架之间的顶部和底部，两个所述清洗箱均固定安装于机架内侧，所述吸附机构包括吸附箱，所述吸附箱内壁顶部和底部均固定连接有支撑块，所述支撑块之间设有滤芯，所述滤芯一侧固定连接有连接板，所述吸附箱靠近连接板一侧开有箱口，所述吸附箱顶部和底部分别固定连接有第一通水管和第二通水管，所述第一通水管底端延伸至滤芯顶端，所述第二通水管顶端延伸至滤芯底端，本实用新型可对清洗箱中的清洗剂液的杂质彻底清除，从而避免了清洗剂液中的杂质再次流入到工件上，从而可对工件清洗完全。