[实用新型]一种热驱动的谐振式微泵有效
| 申请号： | 202022938901.9 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN213808018U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 周旭波;王扬华;于葛亮;任晓栋 | 申请（专利权）人： | 无锡费曼科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;F04B53/16 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 刘秀颖 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种谐振式微泵，具有结构简单、加工简易和成本低的效果。本实用新型公开了一种热驱动的谐振式微泵，包括衬底，所述衬底上表面沿自身长度方向开设有供微流体穿过的流道，所述衬底上设置有用于封闭流道的封盖，所述封盖上通过刻蚀形成空腔，所述空腔连通流道，所述空腔上方未刻蚀的衬底部分形成振膜，所述振膜上表面设置有电热丝。借助流道、振膜和电热丝的配合，实现了热驱动流体加速，降低了加工成本，优化了加工工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 谐振 式微 | ||
【主权项】：
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