[实用新型]晶圆镀膜的加热平台的水平微调装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调装置，其系指用于精密微调晶圆镀膜平台的微调装置，凭借精准的水平使晶圆均匀受热，有效降低产品的不合格率，并能同步纪录微调数据。其主要由固定板、调整台及微调装置所组成，而能利用微调装置上的棘轮调节器及微调外环，分别调控调整台两端的水平距离，令固定板能同步随之调整，供将固定板上的加热平台调整在理想的水平角度，使位于加热平台上的晶圆达到均匀受热，有效提升晶圆镀膜的品质，并凭借微调外环的限制，使调整台的移动高度范围在正负30密耳，以免调整角度过大，整体相当进步且实用。