[实用新型]一种抗高过载MEMS惯性测量单元

摘要

本实用新型公开了一种抗高过载MEMS惯性测量单元，属于微机电系统技术领域，包括惯性传感器，所述惯性传感器的底侧焊接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的一端焊接有第一弹簧，所述第一弹簧的一端焊接有垫板，所述垫板的一侧焊接有推动板，所述推动板的底侧焊接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端焊接有底座，所述底座的内侧安装有加热壳，所述加热壳内侧粘接有导热板，所述加热壳的顶侧焊接支撑座，所述支撑座的内部安装有插座，所述插座的底侧电性连接有电热丝。本装置结构简单，可以有效的应对高过载情况下的惯性测量单元，保证其可以稳定的进行运作，在一定程度上降低高过载情况下，对设备的影响。