[实用新型]一种固晶机用的晶圆移动平面工作台

摘要

本实用新型公开了一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，属于工作台技术领域，一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体、工作台本体和水箱，所述箱体内壁滑动连接有支撑板，所述支撑板上转动连接有丝杆，所述工作台本体与丝杆螺纹连接，所述工作台本体顶部内壁固定连接有循环水管，所述支撑板底部分别固定连接有电机和活塞，所述电机输出端固定连接有转动轴，所述转动轴上固定连接有曲轴，所述曲轴与活塞之间转动连接；本实用新型结构简单，操作便捷，通过电机与活塞的相互配合达到对工作台进行散热，通过电机与丝杆的相互配合达到对工作台进行位置调节，实用性大大提高。