[实用新型]溅射镀膜用夹治具有效
| 申请号： | 202022972375.8 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN214088651U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 王刚;叶炜昊 | 申请（专利权）人： | 浙江美迪凯光学半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人： | 张德宝 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种溅射镀膜用夹治具，包括底板、盖板及连接件，底板上形成有凹部，盖板上具有与凹部配合的第一通孔，待镀膜基板放置于凹部，盖板盖设于底板上使待镀膜基板的至少部分通过第一通孔外露；底板与盖板通过连接件连接。上述夹治具通过改变底板上凹部及盖板上第一通孔的尺寸，能够对不同尺寸的待镀膜基板进行镀膜，扩大了现有镀膜机的应用范围，满足了各种尺寸基板的镀膜需求。另外，在将待镀膜基板放入镀膜机或者从镀膜机取出时，可以用机械手抓取夹治具，避免手取或者用机械手直接抓取基板，保证基板表面的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 用夹治具 | ||
【主权项】：
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