[实用新型]靶材磁控镀膜支架有效
| 申请号： | 202022978948.8 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN214361649U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 罗帅 | 申请（专利权）人： | 沙河市嘉炎镜业科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 054100 河北省邢台市纬三*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了靶材磁控镀膜支架，包括离子溅射仪本体、镀膜支板、靶材本体和滑动件，所述镀膜支板固定连接在离子溅射仪本体内部，所述镀膜支板两条对角线分别设有四条滑轨，所述镀膜支板顶部设有多个凹孔，所述四条滑轨顶部设有四个挡杆，所述挡杆两端滑动连接有两个卡接件，所述滑动件设置有四个且滑动连接在镀膜支板内部，所述滑动件输出端与挡杆固定连接，所述靶材本体滑动连接在四个挡杆内部，本实用新型中，通过调节滑动件，使四个滑动件与靶材外侧外切，将靶材稳定在镀膜支板上，通过所设的卡接件，将滑动挡杆与镀膜支板卡接，有利于加工不同尺寸的圆形靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材磁控 镀膜 支架 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沙河市嘉炎镜业科技有限公司，未经沙河市嘉炎镜业科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022978948.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有自动冲断功能的注塑模具
- 下一篇：一种生物质和太阳能综合利用系统
- 同类专利
- 专利分类
