[实用新型]一种蒸镀装置及蒸镀机有效
| 申请号： | 202022983765.5 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN214694343U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;武启飞;赵平;赵鹏鹏;胡淳;廖良生;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀装置及蒸镀机。其中蒸镀装置包括蒸镀腔、供料腔、蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头、蒸镀探头和供料组件；蒸镀组件包括用于蒸镀的工作位和用于预蒸的等候位，工作位设置于蒸镀腔内，等候位设置于供料腔内，工作位和等候位上均设置有加热组件，坩埚置于加热组件内，位于等候位的加热组件能对其上的坩埚内的材料预蒸至预设蒸镀速率；驱动组件用于驱动工作位和等候位上的加热组件调换位置；预蒸探头用于检测等候位上材料的蒸镀速率；蒸镀探头用于检测工作位上材料的蒸镀速率；供料组件设置于供料腔内，能向等候位取放坩埚。本实用新型的能连续蒸镀，提高了蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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