[实用新型]一种石英舟

摘要

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，具体涉及一种石英舟，包括固定杆和支撑杆；所述固定杆有两个，所述固定杆上开设有多个上固定槽，两个所述固定杆上相互远离的一侧均设有凸沿，其中一个所述固定杆的凸沿上开设有定位孔，另一个所述固定杆的凸沿上设有定位柱；所述支撑杆有两个，所述支撑杆位于固定杆下方并与支撑杆相互平行。本实用新型的有益效果在于：成批的晶圆能够直接在晶圆传递盒和石英舟之间转移，无需人工使用吸笔对晶圆单片逐个进行转移，不仅提高了晶圆的转移效率，节约了人工成本，同时还能够避免人工转移过程中对晶圆造成损害，进而提高晶圆的良品率。