[实用新型]监测热偶固定装置

摘要

本实用新型涉及半导体器件加工制造领域，具体涉及一种监测热偶固定装置，包括：套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上，以将所述工装卡具吊装在待测温石英管的上方。通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。