[实用新型]大宗化学品供应系统有效
申请号: | 202022997389.5 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN214037874U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 隋英羿 | 申请(专利权)人: | 浙江东开半导体科技有限公司 |
主分类号: | F17D1/14 | 分类号: | F17D1/14;F17D3/01;F16L9/02;F16L9/12 |
代理公司: | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人: | 司晓蕾 |
地址: | 310000 浙江省杭州市经济技术开*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了大宗化学品供应系统,涉及化学品输送技术领域,包括依次通过管道连接的灌充单元、储存单元、中继站以及分配单元,所述灌充单元内部设有第一气动供应泵,以使化学品通过灌充单元输送给中继站;所述中继站内设有第二气动供应泵,以使化学品通过中继站输送给分配单元。当机台需求化学品时,先启动中继站内部的第二气动供应泵,将中继站的存储罐内的化学品输送至分配单元,由分配单元供应至相应机台,当中继站的存储罐的液位计报警时,启动灌充单元内部的第一气动供应泵,将存储单元内的化学品输送至中继站的存储罐。中继站的设置解决了供应能力取决于供应泵扬程的问题,能满足远超供应泵扬程的输送高度的化学品需求。 | ||
搜索关键词: | 大宗 化学品 供应 系统 | ||
【主权项】:
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