[实用新型]一种一体化多极式等离子发生器有效
| 申请号： | 202023023515.3 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN213522489U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李裔红 | 申请（专利权）人： | 成都金创立科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/34 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 贺理兴 |
| 地址： | 610506 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及等离子发生器技术领域，提供了一种一体化多极式等离子发生器，包括阴极、阳极、水冷系统和进气系统；阳极包括依次连通的大阳极和若干小阳极，小阳极设置于阴极与大阳极之间；大阳极与小阳极之间和/或小阳极与小阳极之间均设置有绝缘气环；水冷系统包括位于发生器同一端的进水口和出水口，以及由进水口一端延伸至发生器另一端并返回至出水口一端的冷却液道；进气系统包括主气路和保护气路；小阳极设置有互不连通的第一水路和第一气路，绝缘气环设置有互不连通的第二水路和第二气路；以使主气路、所述保护气路和水冷系统各自独立工作，互不干扰。其接电、进出水和进气均设置于发生器尾部，且水冷系统与进气系统完全分离，互不影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体化 多极 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
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