[实用新型]一种制绒硅片干燥辅助装置

摘要

本实用新型公开了一种制绒硅片干燥辅助装置，安装在洁净房顶上，所述干燥辅助装置包括风机、F4‑F7中效过滤、过滤器支撑、化学过滤、过滤器外壳、高效过滤、风罩组成，新风从风机进入，依次通过F4‑F7中效过滤、过滤器支撑、化学过滤、过滤器外壳、高效过滤、风罩，所述F4‑F7中效过滤安装在过滤器支撑上，所述化学过滤安装过滤器外壳内，过滤器外壳安装在洁净房顶外表面，所述高效过滤安装在过滤器外壳与洁净房顶内，所述风罩安装在洁净房顶内表面。本实用将干燥风机与外新风系统相接，通入环境气体，有效降低烘干成本，过滤器中设计空气吸附过滤净化层，吸附有害气体，高效过滤制得洁净的气氛，进一步减少气体对硅片表面的氧化与污染。