[实用新型]一种旋转溅射靶材管口保护装置

摘要

本实用新型公开了一种旋转溅射靶材管口保护装置，包括靶材，靶材上端管口处设有保护套，所述保护套的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽内设有缓冲机构，所述缓冲机构包括第一弹性缓冲圈、第二弹性缓冲圈和若干个缓冲连接块，保护套内部设有圆盘压板，保护套的上端设有调节螺栓，保护套的上部和中部分别设有第一橡胶套圈和第二橡胶套圈，该保护装置通过橡胶套圈来初步缓解外部挤压碰撞，再通过缓冲机构来对靶材管口进一步保护，通过第一弹性缓冲圈、第二弹性缓冲圈和缓冲连接块共同作用来避免靶材管口处螺纹部分产生形变损坏，能有效避免靶材管口处螺纹部分与保护套内壁直接接触并产生损坏，保护效果更好。