[实用新型]一种集成光电传感器有效

专利信息
申请号: 202023045376.4 申请日: 2020-12-16
公开(公告)号: CN213583789U 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 王凯;齐一泓;周贤达 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人: 林玉芳;辜丹芸
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种高增益及宽动态响应范围的集成光电传感器,其掺杂源区和掺杂漏区间隔设置于衬底的顶部,掺杂源区顶部形成源极电极,掺杂漏区顶部形成漏极电极;栅绝缘层设置于掺杂源区和掺杂漏区之间,其顶部设置有栅电极;掺杂源区、源极电极、掺杂漏区、漏极电极、栅绝缘层和栅电极形成场效应晶体管;光敏掺杂区与所述衬底形成光敏二极管,所述光敏掺杂区顶部形成光敏二极管的顶部电极,所述衬底为光敏二极管的底部电极并与场效应晶体管的背沟道相连;所述隔离区设置于所述光敏二极管与所述场效应晶体管之间。该集成光电传感器结构简单,容易实现低成本制造。
搜索关键词: 一种 集成 光电 传感器
【主权项】:
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