[实用新型]一种等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202023050801.9 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN214313126U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;吴堃;张鹏兵;陈世名 | 申请（专利权）人： | 上海谙邦半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板，所述等离子体通道板包括：等离子体通道板主体；环绕所述等离子体通道板主体的侧部的通道板定位件；位于所述通道板定位件和所述反应腔主体的顶壁之间的导电导热环；位于所述等离子体通道板主体上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤以及等离子体通道板接地不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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