[实用新型]一种电子气体除氧杂质系统有效
| 申请号： | 202023051987.X | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN214261301U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘文丽;李飞娥;王俊果;郭帅杰;韩列光;姬文博;刘乐通 | 申请（专利权）人： | 伊川湄格气体有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;B01D53/00;B01D53/04 |
| 代理公司： | 河南广文律师事务所 41124 | 代理人： | 王自刚 |
| 地址： | 471311 *** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及电子气除氧技术领域，公开的一种电子气体除氧杂质系统，包括：聚酰胺氮膜系统、液化系统、分子筛除氧塔，所述聚酰胺氮膜输入端连接电子气的源管道，聚酰胺氮膜输出端通过管道与液化系统联通，液化系统通过管道与分子筛除氧塔的输入接口联通，分子筛除氧塔的顶端输出接口与排氧管联通，分子筛除氧塔的底端输出接口与除氧电子气的净化管联通。本实用新去除了电子气体的氧气及其他杂质，提高了电子气体的纯度，纯度达99.99%，满足了半导体行业的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 气体 杂质 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于伊川湄格气体有限公司，未经伊川湄格气体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023051987.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种嵌入式吸奶器用电路板
- 下一篇：一种产品设计用绘画板
