[实用新型]狭缝喷嘴以及基板处理装置有效
| 申请号： | 202023053851.2 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN215390401U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 安陪裕滋 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的课题在于在狭缝喷嘴及包括所述狭缝喷嘴的基板处理装置中，能够在吐出口的中央部与端部之间有效率地进行用于使吐出量均匀化的作业。本实用新型的狭缝喷嘴包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙地相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整吐出口的开口宽度，在一对唇部中的至少一个中，在与和另一个唇部相向的相向面为相反侧的面上与吐出口的长边方向平行地设置有槽，调整机构通过以增减喷嘴本体中的隔着槽而相向的部位的间隔的方式使喷嘴本体变形来调整开口宽度。槽在与吐出口在长边方向上的端部对应的位置处，比在与吐出口在长边方向上的中央部对应的位置处深。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 喷嘴 以及 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社斯库林集团，未经株式会社斯库林集团许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023053851.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种快速安装的装配式梁柱连接节点
- 下一篇：一种承插式预制混凝土梁
