[实用新型]一种静电夹盘及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202023059661.1 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN213660342U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黄国民;郭二飞;赵函一;吴狄;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种静电夹盘及等离子体处理装置，该静电夹盘的夹盘和基部之间采用多层的粘接层连接，所述多层粘接层各自具有不同的导热系数，和/或同一层粘接层不同区域选择不同导热系数的材料，实现了传热系数整体和/区域的可调，有效的保证了材料选择的多样性和温度分布的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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