[实用新型]一种籽晶检测用晶向测量装置有效
申请号: | 202023063976.3 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN214039939U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 陈志谋 | 申请(专利权)人: | 扬州申威光电器材有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;H01L21/66 |
代理公司: | 金华市婺实专利代理事务所(普通合伙) 33340 | 代理人: | 胡恩晗 |
地址: | 225653 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种籽晶检测用晶向测量装置,包括底板,所述底板的顶部固定设有安装板,所述安装板上位于且中心处开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动设有籽晶夹紧器,所述籽晶夹紧器的底部设有由驱动器驱动的旋转筒,所述旋转筒的内部设有与籽晶夹紧器相连接的驱动气缸,所述驱动器的一侧设有固定于底板上的底座,所述底座的顶部固定设有立杆,所述立杆的端部固定设有晶向测量仪;本实用新型使用时将籽晶置于籽晶夹紧器上,驱动气缸驱动籽晶夹紧器移动从而调节籽晶的位置,晶向测量仪对籽晶进行测量,在测量的过程中,驱动器驱动旋转筒转动,从而驱动籽晶旋转,达到对籽晶各个角度的晶向的测量,可以适用于不同尺寸的籽晶的晶向测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 籽晶 检测 测量 装置 | ||
【主权项】:
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