[实用新型]一种降低八氟环丁烷含氧杂质处理的充装装置有效
申请号: | 202023065008.6 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN214198177U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 刘文丽;李飞娥;王俊果;郭帅杰;韩列光;姬文博;刘乐通 | 申请(专利权)人: | 伊川湄格气体有限公司 |
主分类号: | F17D1/07 | 分类号: | F17D1/07;F17D3/01;H01L21/3065;H01L21/67;B01D53/04 |
代理公司: | 河南广文律师事务所 41124 | 代理人: | 王自刚 |
地址: | 471311 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及电子气除氧技术领域,公开的一种降低八氟环丁烷含氧杂质处理的充装装置,包括:吸附器、吸附器、过滤器、膜压装置,所述吸附器与吸附器分别通过上管道、下管道并联联通,并联联通的上管道通过过滤器与膜压装置第一输出口联通,并联联通的上管道通过阀门与膜压装置第二输入口联通,膜压装置第一输入口通过管道与电子气源联通,膜压装置第二输出口与充装瓶连接的管道联通。本实用新型能够对电子气体的含氧杂质进行处理及充装,其结构简单,操作方便,生产成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 八氟环 丁烷 杂质 处理 装置 | ||
【主权项】:
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