[实用新型]一种半导体观察显微镜机台有效
| 申请号： | 202023067474.8 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN214201227U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 马观岚 | 申请（专利权）人： | 江苏才道精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01N21/94 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体观察显微镜机台，包括光学玻璃平台、X轴移动平台、X轴传动机构、Y轴移动平台、Y轴传动机构、显微镜和Z轴传动机构；Y轴传动机构与Y轴移动平台相连，且能够控制Y轴移动平台在Y轴方向运动；X轴移动平台和X轴传动机构均安装于Y轴移动平台上，所述X轴传动机构与X轴移动平台相连，且能够控制X轴移动平台在X轴方向运动；光学玻璃平台设于X轴移动平台上；显微镜安装于光学玻璃平台上方，Z轴传动机构与显微镜相连，且能够控制显微镜在Z轴方向运动。本实用新型解决了目前人工检查存在的因疲劳误检、效率低下且人工费用高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 观察 显微镜 机台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏才道精密仪器有限公司，未经江苏才道精密仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023067474.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种管道焊接用快速冷却装置
- 下一篇：一种用于橡塑挤出机的自清洁过滤机构
