[实用新型]一种半导体用的特殊气体输送装置

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体用的特殊气体输送装置，包括第一输送弯管，所述第一输送弯管的一端固定连接有固定连接器，所述固定连接器的一侧固定连接有位于第一弯管一侧的中输送管，所述中输送管的一侧固定连接有第二输送弯管；该半导体用的特殊气体输送装置，通过在混合器的内部开设有槽，且槽的内部活动套接有卡接管，卡接管的两侧固定连接有限转块，再在槽的一侧固定连接有定位块，转动轴的侧部与卡接管的侧部相贴合，通过转动转动轴，使卡接管两端固定连接的限转块与定位块进行贴合，从而使卡接管一端固定连接的限气盘开设的透气孔与连接管内侧一端固定连接的限气盘开设的透气孔错开，从而达到将气体进行拦截的问题。