[实用新型]一种晶圆切割环的自动化检测装置有效
| 申请号： | 202023071352.6 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN213688233U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 蒋松杰 | 申请（专利权）人： | 苏州恩斯贝格精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙) 33262 | 代理人： | 汤时达 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆切割环的自动化检测装置，包括机架，输送装置，检测装置和定位装置，所述输送装置设置在机架上，检测装置设置在输送装置上方，检测装置包括测距器和安装架，测距器设置在安装架上，所述定位装置设置在输送装置两侧，定位装置包括基座，压板和弹簧，所述压板一端与基座枢轴连接，压板的底部设有球形凸部，压板的底部设有弹簧。本实用新型的一种晶圆切割环的自动化检测装置能够实现自动化批量检测，有效提升了检测效率和精度；此外，能够多个位置检测，更全面判断产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 自动化 检测 装置 | ||
【主权项】：
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