[实用新型]一种简单实用的PVD镀膜电源模组

摘要

本实用新型公开一种简单实用的PVD镀膜电源模组，能够精准控制输出功率，能够在负脉冲的上升沿提供一个正脉冲，正脉冲的大小和宽度可调。本实用新型的三相整流及滤波电路输出端连接移相逆变全桥电路，移相逆变全桥电路经过高频变压器后接到单相整流电路，单相整流电路依次经过滤波电路、斩波电路后连接反极性电路；斩波电路与保护电路相连接，保护电路输出端连接控制电路，反极性电路输出端连接真空镀膜负载。本实用新型有效解决了大功率高密度磁控溅射电源控制精度低的问题，降低了真空室打火的概率、抑制了弧靶中毒和阳极消失问题。