[实用新型]硅棒快速降温系统有效
申请号: | 202023085360.6 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN214087738U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 靳志明;甘易武;韩成福;吴巧芸;姜兴;李亚昆;冉胜国;刘廷泽 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型公开了硅棒快速降温系统,包括:还原炉,包括钟罩夹套和电极冷却装置,钟罩夹套具有入口和出口,还原炉内部设有硅棒;闪蒸罐,包括闪蒸出水管线和闪蒸回水管线,闪蒸出水管线与钟罩夹套的入口连接,闪蒸回水管线与钟罩夹套的出口连接,闪蒸出水管线上设置有高温进水阀门,闪蒸回水管线上设置有高温出水阀门;电极水罐,包括电极水罐出水管线和电极水罐回水管线;硅棒冷却进水管线和硅棒冷却回水管线,硅棒冷却进水管线上设置有冷却水进水阀门,硅棒冷却回水管线上设置有冷却水出水阀门。可以减少钟罩打开后硅棒自然冷却降温的时间,缩短硅棒暴露的时间减少污染,确保产品质量;同时缩短还原炉停炉时间,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 快速 降温 系统 | ||
【主权项】:
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