[实用新型]一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台有效
| 申请号： | 202023089925.8 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN213956267U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 马观岚 | 申请（专利权）人： | 江苏才道精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 朱远枫 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种白光共聚焦膜厚量测精密龙门机台，包括大理石平台和大理石横梁，大理石平台上安装Y轴丝杆传动组件，大理石平台两相对边设置Y轴导轨，大理石横梁的底部设有套于Y轴丝杆外部的连接板以及能够在Y轴导轨上移动的立柱，大理石横梁安装有X轴丝杆传动组件，影像测量仪还包括Z轴组件，X轴丝杆传动组件能够驱动Z轴组件在X轴方向上移动，Z轴组件包括交叉导轨、滑板、Z轴丝杆传动组件，交叉导轨连接滑板，Z轴丝杆传动组件能够驱动滑板在交叉导轨上沿Z轴上下移动，滑板上安装单筒镜头和白光聚焦位移传感器。本实用新型不仅操作简单方便、成本低而且工艺简单，保证了检测数据的准确性；单筒显微镜与白光聚焦位移传感器相结合同时运行，节约时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 聚焦 膜厚量测 精密 龙门 机台 | ||
【主权项】：
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