[实用新型]一种磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 202023101748.0 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214271026U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 冯登科;刘毅 | 申请（专利权）人： | 厦门海辰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 余菲 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市厦门火炬高*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种磁控溅射镀膜机。一种磁控溅射镀膜机，磁控溅射镀膜机包括：依次布置的第一收放卷机构、第一张力辊、溅射区以及第二收放卷机构；薄膜能从所述第一收放卷机构经过所述第一张力辊、所述溅射区被所述第二收放卷机构收卷；且所述第一张力辊与所述薄膜的包角为120‑180°。在第一收放卷机构、溅射区之间设置第一张力辊、第一张力辊与薄膜之间的包角为120‑180°。第一张力辊可以有效消除薄膜上的张力，避免薄膜被过度拉伸，避免造成镀层出现缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
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