[实用新型]一种单晶炉排气筒有效
申请号: | 202023122344.X | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN214458433U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 赵刚;高磊 | 申请(专利权)人: | 内蒙古华耀光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人: | 樊晓敏 |
地址: | 010070 内蒙古自治区呼和浩特*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 一种单晶炉排气筒,包括一级排气筒,外排气筒,所述一级排气筒连接二级排气筒,二级排气筒外侧包裹保温层,二级排气筒置于外排气筒中;所述外排气筒与一级排气筒内侧或外侧相嵌合连接;所述一级排气筒和二级排气筒均为石墨材质。本实用新型提供了一种单晶炉排气筒,能够改善不锈钢炉体与石墨排气筒交界处因温度变化大而导致挥发物凝结,达到改善炉体排气效果,提高拉晶质量,降低开炉成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉排 气筒 | ||
【主权项】:
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