[实用新型]改进的蚀刻机有效

专利信息
申请号: 202023126849.3 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN214937811U 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 顾叶锋;王娟;惠倩 申请(专利权)人: 苏州普汇达电子科技有限公司;顾叶锋
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;C02F9/08;C02F103/16
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了改进的蚀刻机,包括机体和净化设备,所述净化设备包括反应桶和传动箱,所述传动箱内部设有化工泵,所述化工泵通过液管分别与机体和反应桶连通,所述反应桶顶端设有反应液注入口,所述反应桶两侧分别设有机箱、冷凝箱和净化箱,所述冷凝箱通过气管与反应桶连通,所述反应桶内部设有搅拌桨和加热器。通过机体与净化设备的结合,对于化学蚀刻后的反应溶液将直接排放至反应桶内,可直接对反应溶液进行处理,本净化设备采用混合、蒸发、冷凝、净化一系列处理,可达到反应溶液处理的最佳效果,有效避免了收集、转移的繁琐流程,同时也避免了转移过程中,化学气体挥发污染环境的问题。
搜索关键词: 改进 蚀刻
【主权项】:
暂无信息
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