[实用新型]改进的蚀刻机有效
申请号: | 202023126849.3 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN214937811U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 顾叶锋;王娟;惠倩 | 申请(专利权)人: | 苏州普汇达电子科技有限公司;顾叶锋 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;C02F9/08;C02F103/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了改进的蚀刻机,包括机体和净化设备,所述净化设备包括反应桶和传动箱,所述传动箱内部设有化工泵,所述化工泵通过液管分别与机体和反应桶连通,所述反应桶顶端设有反应液注入口,所述反应桶两侧分别设有机箱、冷凝箱和净化箱,所述冷凝箱通过气管与反应桶连通,所述反应桶内部设有搅拌桨和加热器。通过机体与净化设备的结合,对于化学蚀刻后的反应溶液将直接排放至反应桶内,可直接对反应溶液进行处理,本净化设备采用混合、蒸发、冷凝、净化一系列处理,可达到反应溶液处理的最佳效果,有效避免了收集、转移的繁琐流程,同时也避免了转移过程中,化学气体挥发污染环境的问题。 | ||
搜索关键词: | 改进 蚀刻 | ||
【主权项】:
暂无信息
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