[实用新型]一种扫描电镜观察样品专用夹具有效
| 申请号： | 202023133169.4 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214705849U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 孙志杰 | 申请（专利权）人： | 万向钱潮股份有限公司;万向集团公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 陈继亮 |
| 地址： | 311215 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜观察样品专用夹具，涉及扫描电镜领域，包括夹具槽、转动结构和底座，夹具槽顶部敞口用于置入样品，沿夹具槽边缘均布有若干贯穿夹具槽侧壁的螺杆用于夹持样品，螺杆沿夹具槽侧壁伸缩以夹紧样品，夹具槽底部通过转动结构与底座转动连接，底座下部设有卡槽用于固定连接扫描电镜。本实用新型的有益效果为：无需更换扫描电镜即可进行失效分析；减少了失效样件紧固时间，提高了失效样件紧固的成功率，提高检测效率；多角度立体旋转将断口最大程度地正视于镜头，可以更方便地观察断口的偏僻狭小的部位的微观形貌；样件更换方便，固定良好，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低廉，适于大规模推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 观察 样品 专用 夹具 | ||
【主权项】：
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