[实用新型]一种单晶硅片生产的高效除杂装置有效

专利信息
申请号: 202023143378.7 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN214346418U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 王初林 申请(专利权)人: 扬州善鸿新能源发展有限公司
主分类号: B01J19/18 分类号: B01J19/18;B01D36/02;B01D29/35;B01D29/03;C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 代理人: 李雯斐
地址: 225000 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种单晶硅片生产的高效除杂装置,包括罐体,罐体内设有混合反应腔,混合反应腔的顶部一侧固定设有化学试剂滴罐,且内部设有搅拌器,搅拌器的顶端穿过罐体,且与第一驱动电机的输出轴机械连接,混合反应腔的底部设有出液管,出液管内竖直设有分液板,分液板的两侧与罐体内壁之间均固定设有第一滤网,第一滤网下方固定设有第二滤网,第二滤网的下方设有过滤筒,过滤筒的底部固接支撑轴的一端,支撑轴的另一端穿过罐体,且与第二驱动电机的输出轴机械连接。本实用新型搅拌混合的均匀度高,保证除杂过程中化学反应的充分,除杂效率高;过滤效果好,得到高纯度的单晶硅,保证了单晶硅片加工的纯度。
搜索关键词: 一种 单晶硅 生产 高效 装置
【主权项】:
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